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    是一种精度可达次微纳米量级的非接触式位移量测系统， 可测量漫反射/镜面反射及透明多层材质的位移,厚度,也适合深孔/盲孔工件等运用。

 优势及特点

&苍产蝉辫;1、稳定量测各类材质，例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等。

&苍产蝉辫;2、适用于各种形貌（包含深孔/斜面/弧面）之特征尺寸量测，例如高度/段差/厚度/平面度/轮廓度等。

&苍产蝉辫;3、高温高压等严苛操作条件下亦能适应正常使用。

&苍产蝉辫;4、测头结构轻巧，易整合于各行业之自动化测量应用。

&苍产蝉辫;5、结构轻巧且内部不含电子零件而不受环境干扰影响。

&苍产蝉辫;6、*多层材质量测算法,可量测透明／半透明多层材质间之厚度或间隙。