MTI数字式电容位移传感器线性度达满量程的 0.01%,具有亚纳米级别的分辨率。accumeasure D系列的放大器采用的技术来将可靠的电容式电场测量(位移)直接进入一个24位数位分辨率。这种方法消除了采用模拟滤波线性化的误差,可以扩展测量范围,通过测量厚度或进行台阶测量。放大器的频率响应快,且能平均所有的数字测量值以得到更好的精度。
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